Dalam bidang canggih pembuatan semikonduktor, setiap perubahan kecil dalam lingkungan produksi dapat memiliki dampak yang menentukan pada kualitas produk.Sebagai produsen profesional dengan pengalaman bertahun-tahun dalam industri peralatan pemurnian, Guangzhou Cleanroom Construction Co, Ltd sangat memahami posisi inti dari kontrol tekanan arus udara perbedaan di kamar bersih semikonduktor.kami akan secara komprehensif menganalisis solusi kontrol perbedaan tekanan aliran udara untuk ruang bersih semikonduktor, membantu Anda menciptakan lingkungan produksi yang stabil dan efisien.
Kontrol Perbedaan Tekanan Aliran Udara: Jalur Pertahanan Kunci dalam Produksi Semikonduktor
Menolak Serangan Pencemar
Proses pembuatan chip semikonduktor sangat halus. Begitu polutan seperti partikel debu dan mikroorganisme dicampur,mereka dapat menyebabkan masalah serius seperti sirkuit pendek dan sirkuit terbuka di chip. Ambil proses litografi chip proses canggih sebagai contoh. lebar garis pada chip telah mencapai tingkat nanometer. partikel debu dengan diameter hanya 0.1 mikrometer cukup untuk menyebabkan penyimpangan dalam pola litografiDengan membangun perbedaan tekanan aliran udara secara wajar dan menjaga ruang bersih dalam keadaan tekanan positif, polutan eksternal dapat secara efektif diblokir,membangun penghalang perlindungan yang tidak terlihat untuk produksi chip.
Memastikan Operasi Proses yang Stabil
Produksi semikonduktor mencakup berbagai proses yang kompleks seperti litografi, etching, dan doping.dan kebersihanPerbedaan tekanan aliran udara yang stabil dapat memastikan bahwa parameter lingkungan dari setiap area selalu dipertahankan dalam kisaran yang diperlukan oleh proses,memberikan jaminan yang kuat untuk kemajuan proses yang lancar. Dalam proses mengikis, jika aliran udara tidak stabil, distribusi gas mengikis akan tidak merata,yang menyebabkan tingkat etching yang tidak konsisten dan sangat mempengaruhi akurasi etching dan kualitas produk chip.
Solusi Kontrol Perbedaan Tekanan Aliran Udara yang Tepat untuk Membuat Ruang Produksi yang Murni
Pembagian Daerah Ilmiah dan Pengaturan Perbedaan Tekanan yang Tepat
- Daerah Produksi Inti: Proses utama seperti litografi, etching, dan doping dilakukan di daerah ini.Dianjurkan agar tekanan di area produksi inti 15 - 25 Pa lebih tinggi daripada di area tambahan yang berdekatan, sehingga meminimalkan risiko invasi polutan eksternal dan memastikan bahwa proses pembuatan chip tidak terganggu oleh polusi.
- Daerah produksi tambahan: Area tambahan seperti area penyimpanan sementara bahan dan area pemeliharaan peralatan, meskipun persyaratan kebersihan sedikit lebih rendah daripada area produksi inti,masih perlu mempertahankan tekanan positif tertentuSecara umum,5 - 10 Pa lebih tinggi daripada area seperti koridor biasa untuk mencegah polutan di koridor masuk ke area tambahan dan membahayakan lingkungan area produksi inti.
- Perjalanan Personil dan Bahan: Untuk jalur di mana personel dan bahan masuk dan keluar dari bengkel, gradien perbedaan tekanan yang wajar harus disetel dengan hati-hati untuk membentuk efek penguncian udara yang efektif.Ketika memasuki daerah bersih dari daerah tidak bersih, tekanan secara bertahap meningkat dengan setiap pintu yang dilewati, bertindak seperti lapisan titik pemeriksaan, secara efektif memblokir polutan dari masuk ke kamar bersih bersama dengan personel dan bahan.
Memilih Peralatan Canggih untuk Mencapai Kontrol yang Tepat
- Sensor Tekanan Presisi Tinggi: Sensor tekanan presisi tinggi yang dikembangkan secara independen oleh Guangzhou Cleanroom Construction Co., Ltd. memiliki kinerja yang sangat baik.yang dapat dengan akurat menangkap perubahan tekanan di setiap area bengkel secara real-time, memastikan bahwa fluktuasi tekanan yang tidak normal terdeteksi segera dan memberikan dasar yang kuat untuk mengambil tindakan balasan yang tepat waktu.
- Sistem Kontrol Ventilasi Cerdas: Sistem ini terkait erat dengan sensor tekanan presisi tinggi. Menurut nilai perbedaan tekanan yang telah ditetapkan sebelumnya, sistem ini dapat secara otomatis dan tepat menyesuaikan kecepatan kipas dan pembukaan katup,mencapai kontrol aliran udara yang cerdas dan halusBegitu ia mendeteksi bahwa tekanan di area tertentu lebih rendah dari nilai yang ditetapkan, sistem akan dengan cepat bereaksi,secara otomatis meningkatkan volume pasokan udara atau mengurangi volume knalpot udara untuk dengan cepat mengembalikan tekanan ke tingkat normal.
Pemeliharaan dan manajemen yang komprehensif untuk terus melindungi stabilitas perbedaan tekanan
Kalibrasi dan pemeliharaan reguler untuk memastikan kinerja peralatan
Kalibrasi sensor tekanan setiap enam bulan untuk memastikan akurasi dan keandalan data pengukuran.melakukan pemeriksaan komprehensif peralatan ventilasi secara teratur, periksa dengan hati-hati apakah pendorong kipas sudah usang, apakah katup dapat dibuka dan ditutup dengan normal, dll.,dan mengganti komponen tua atau rusak tepat waktu untuk memastikan bahwa peralatan selalu dalam kondisi operasi terbaik.
Melakukan Pelatihan Profesional untuk Meningkatkan Kemampuan Staf
Melakukan pelatihan sistematis tentang pengetahuan kontrol perbedaan tekanan aliran udara untuk staf bengkel,memungkinkan mereka untuk memahami secara mendalam pentingnya kontrol perbedaan tekanan dan metode penanganan situasi abnormalKetika terjadi alarm perbedaan tekanan, staf dapat dengan cepat menganalisis kemungkinan penyebab, seperti kegagalan peralatan dan kebocoran pipa,dan mengambil tindakan efektif dalam waktu yang tepat untuk memastikan kontinuitas dan stabilitas produksi bengkel.
Analisis Data yang mendalam dan Optimasi Solusi yang Terus-menerus
Membangun sistem pemantauan data perbedaan tekanan aliran udara profesional dan melakukan analisis mendalam dari data tekanan akumulasi jangka panjang.masalah potensial dapat dideteksi dengan jelasMisalnya, jika tekanan di beberapa area berfluktuasi sering, itu mungkin karena kegagalan peralatan atau distribusi udara yang tidak wajar,dan kemudian penyesuaian optimasi yang ditargetkan dapat dilakukan untuk terus meningkatkan aliran udara solusi kontrol tekanan perbedaan.
Dengan akumulasi teknis yang mendalam dan pengalaman proyek yang kaya, Guangzhou Cleanroom Construction Co., Ltd. can not only provide high - quality purification equipment but also customize a full - range of airflow pressure difference control solutions and complete post - maintenance services for your semiconductor cleanroomJika Anda berencana untuk membangun ruang bersih semikonduktor atau menghadapi masalah terkait selama operasi bengkel yang ada, silakan hubungi kami.Mari kita bekerja sama untuk menciptakan industri-pemimpin semikonduktor lingkungan produksi bersih dan berkontribusi pada pengembangan industri semikonduktor.