2024-12-04
Di bidang semikonduktor, sebuah revolusi teknologi yang didorong oleh bahan-bahan baru sedang terjadi. Gallium oksida biru tua, sebagai "bintang yang sedang naik daun" yang sangat menjanjikan di antara mereka, telah membuka jalan baru untuk penelitian dan pengembangan perangkat semikonduktor berkinerja tinggi dengan sifat-sifatnya yang sangat baik. Namun, untuk mengubahnya dari pencapaian laboratorium menjadi produksi industri skala besar, sebuah ruang bersih bebas debu yang sesuai dengan karakteristiknya sangat penting.Guangzhou Cleanroom Construction Co., Ltd., yang telah terlibat dalam industri pemurnian selama bertahun-tahun, akan membawa Anda untuk memahami secara komprehensif poin-poin penting dalam pembangunan ruang bersih bebas debu untuk semikonduktor gallium oksida biru tua hari ini.
Proses produksi semikonduktor gallium oksida biru tua sangat sensitif terhadap kotoran seperti debu dan mikroorganisme. Dalam proses-proses penting seperti pembuatan wafer, litografi, dan etsa, bahkan partikel-partikel kecil yang "tercampur" dapat menyebabkan korsleting pada chip, penurunan kinerja, dan pengurangan signifikan dalam tingkat hasil. Oleh karena itu, tingkat pemurnian bengkel biasanya perlu mencapai standar Kelas 10 atau bahkan lebih tinggi. Ini berarti bahwa jumlah partikel debu dengan ukuran partikel lebih besar dari 0,5 mikrometer di setiap meter kubik udara dikontrol ketat dalam 10.Guangzhou Kunling mengadopsi teknologi filtrasi udara terkemuka internasional. Dari filtrasi primer untuk mencegat partikel debu besar, hingga filtrasi efisiensi sedang untuk menangkap kotoran berukuran sedang, dan kemudian melalui filter udara partikulat efisiensi tinggi (HEPA) dan filter udara penetrasi ultra-rendah (ULPA) untuk "penyaringan" lapis demi lapis, memastikan bahwa udara yang masuk ke bengkel hampir bebas dari kotoran, meletakkan dasar yang murni untuk produksi presisi.
Sifat-sifat listrik dan stabilitas struktur kristal bahan semikonduktor gallium oksida bervariasi secara signifikan di bawah lingkungan suhu dan kelembaban yang berbeda. Kisaran suhu yang sesuai biasanya terkunci antara 22 °C dan 25 °C, dan kelembaban dipertahankan pada 40% - 50% kelembaban relatif (RH). Bengkel dilengkapi dengan sistem kontrol suhu dan kelembaban cerdas. Melalui sensor presisi tinggi yang memantau data lingkungan secara real time, ia terhubung dengan AC, pelembap, dan dehumidifier untuk merespons dan menyesuaikan dengan cepat. Ketika suhu melonjak di hari-hari musim panas yang panas, modul pendingin beroperasi secara efisien untuk mendinginkan; ketika kering di musim dingin, peralatan pelembap menyemprotkan secara tepat untuk meningkatkan kelembaban, menciptakan "iklim mikro" suhu dan kelembaban konstan untuk menjaga bahan dan peralatan gallium oksida dalam kondisi kerja terbaik dan mengurangi risiko penyimpangan proses.
Dalam pemrosesan semikonduktor, listrik statis adalah "pembunuh tersembunyi". Sirkuit chip gallium oksida biru tua sangat halus, dan fenomena pelepasan yang disebabkan oleh listrik statis dapat dengan mudah merusak transistor dan merusak chip. Bahan lantai terbuat dari PVC anti-statis atau lantai self-leveling epoksi, dengan resistansi permukaan dikontrol ketat dalam rentang 10^6 - 10^9 ohm untuk dengan cepat menghilangkan listrik statis. Peralatan dan meja kerja dilengkapi dengan eliminator statis, dan kipas ion terus-menerus menghembuskan ion positif dan negatif untuk menetralkan muatan. Operator mengenakan pakaian kerja anti-statis dan penutup sepatu, sepenuhnya "bersenjata" untuk menghilangkan bahaya tersembunyi dari akumulasi dan pelepasan listrik statis dari sumbernya dan melindungi integritas produk.
Ventilasi yang baik di bengkel tidak hanya dapat memastikan udara segar tetapi juga membantu membuang gas limbah proses dan menghilangkan panas untuk pendinginan. Untuk proses khusus dalam produksi gallium oksida, kombinasi aliran searah dan bentuk distribusi udara aliran turbulen diadopsi. Di area litografi, aliran searah vertikal dengan laju aliran yang stabil (0,3 - 0,5 meter per detik) secara tepat membawa debu keluar; di area seperti penyimpanan dan perakitan material, ventilasi aliran turbulen diatur untuk mengganti udara secara efisien. Bahan untuk saluran ventilasi dipilih dengan mempertimbangkan pencegahan kebakaran, pencegahan karat, dan laju kebocoran udara yang rendah. Kipas dipilih secara akurat sesuai dengan skala bengkel dan frekuensi perubahan udara untuk memastikan bahwa volume udara dan tekanan udara sesuai dan mempertahankan aliran udara yang teratur dan mengencerkan konsentrasi zat berbahaya.
Proses persiapan gallium oksida biru tua kompleks, dan mesin litografi, mesin etsa, peralatan deposisi uap kimia, dll. bervariasi dalam ukuran, berat, dan memiliki persyaratan khusus untuk getaran selama pengoperasian dan pembuangan panas. Tata letak bengkel mengikuti prinsip "aliran proses yang lancar dan tidak ada gangguan antara peralatan". Area fungsional yang berbeda dibagi, dan peralatan berat ditempatkan di area dengan daya dukung yang baik dan penyerapan guncangan yang sangat baik. Saluran pembuangan panas dicadangkan dan perangkat pendingin dipasang sesuai dengan kurva pembuangan panas peralatan. Jeda antara peralatan yang berdekatan masuk akal untuk memfasilitasi perawatan, pengoperasian, dan debugging, memungkinkan keterkaitan peralatan yang efisien dan produksi stabil produk semikonduktor berkualitas tinggi.
Orang adalah faktor kunci dalam pengoperasian bengkel, tetapi mereka juga merupakan sumber potensial polusi. Personel yang memasuki ruang bersih bebas debu untuk gallium oksida biru tua perlu melalui proses berpakaian yang ketat, mulai dari pelepasan debu pancuran udara hingga mengenakan pakaian pelindung steril, masker, dan sarung tangan, lapis demi lapis untuk pembersihan. Pelatihan profesional secara teratur dilakukan untuk memperkuat pengetahuan karyawan tentang proses semikonduktor, norma pengoperasian di ruang bersih, dan kemampuan untuk menanggapi keadaan darurat. Karyawan baru diberikan panduan praktis oleh rekan kerja yang berpengalaman untuk menguasai detail penanganan material dan pengoperasian peralatan, mengurangi kemungkinan kontaminasi dan kerusakan produk yang disebabkan oleh kesalahan manusia.
Terlibat dalam pembangunan ruang bersih bebas debu untuk semikonduktor gallium oksida biru tua adalah tantangan sekaligus peluang.Guangzhou Cleanroom Construction Co., Ltd., Ltd. mengandalkan pengalaman proyeknya yang kaya, tim teknis profesional, dan produk pemurnian berkualitas tinggi untuk menyesuaikan solusi satu atap di seluruh proses. Dari perencanaan awal, konstruksi hingga pengoperasian dan pemeliharaan selanjutnya, kami akan melakukan upaya yang tepat untuk membantu perusahaan merebut posisi terdepan di industri gallium oksida biru tua. Jika Anda merencanakan proyek bengkel semacam itu atau memiliki pertanyaan tentang detail konstruksi, jangan ragu untuk segera menghubungi kami dan mari bekerja sama untuk menciptakan model baru manufaktur semikonduktor bersih.