logo
Beranda >

Kasus perusahaan terbaru tentang Guangzhou Cleanroom Construction Co., Ltd. sertifikasi

Apa Itu Kamar Bersih Semikonduktor?

2025-05-28

Kasus perusahaan terbaru tentang Apa Itu Kamar Bersih Semikonduktor?

Aruang bersih semikonduktoradalah lingkungan yang sangat terkontrol yang dirancang untuk meminimalkan kontaminasi selama pembuatan microchip, sirkuit terintegrasi (IC), dan komponen elektronik lainnya.Karena bahkan partikel mikroskopis dapat menyebabkan cacat atau kehilangan hasil, kamar bersih sangat diperlukan untuk pembuatan semikonduktor presisi tinggi.

Karakteristik Utama Ruang Bersih Semikonduktor
  • Konsentrasi partikel yang sangat rendah(Kelas ISO 1 ̊9)

  • Kontrol suhu dan kelembaban yang tepat(hingga ± 0,1 °C)

  • Sistem penyaringan udara canggih(filter HEPA dan ULPA)

  • Perlindungan pelepasan elektrostatik (ESD)

Fasilitas ini memenuhi standar internasional seperti:ISO 14644-1untuk klasifikasi kamar bersih danSEMI S2 / SEMI S8untuk keamanan dan ergonomis peralatan.

Standar Klasifikasi Ruang Bersih
ISO 14644-1 Kelas Ruang Bersih

Produksi semikonduktor biasanya membutuhkanKelas ISO 1 ̊5lingkungan, tergantung pada sensitivitas proses:

Kelas ISO Partikel maksimum (≥ 0,1 μm/m3) Aplikasi Tipikal
ISO 1 10 Litografi EUV lanjutan
ISO 3 1,000 Pembuatan wafer 3D NAND
ISO 5 100,000 Proses semikonduktor lama
Standar Spesifik Industri
  • Standar SEMI: Mendefinisikan kompatibilitas peralatan dan keandalan operasional (misalnya,SEMI F47untuk kekebalan tegangan).

  • Standar Federal 209E (Legacy): Mantan standar kamar bersih AS, sekarang digantikan oleh ISO 14644.

Fitur Desain Ruang Bersih yang Kritis
Kontrol aliran udara
  • Aliran udara unidirectional (Laminar): Pola aliran udara vertikal atau horizontal yang terus menyapu partikel dari zona proses kritis.

  • Sistem Sirkulasi Kembali Efisiensi Tinggi: Biasanya menggunakan kembali lebih dari 90% udara melalui filtrasi HEPA/ULPA multi-tahap.

Protokol Material dan Personil

Persyaratan Pakaian

  • Kelas ISO 1 ̊3: Setelan kelinci lengkap dengan masker wajah, kacamata, dan sarung tangan

  • Kelas ISO 5 ∙ 6: Pakaian bagian seperti tudung dan sarung tangan

Pembatasan Material

  • Penggunaanbahan yang tidak menumpahkan, low-outgassingseperti stainless steel, aluminium anodisasi, dan PTFE

  • Menghindari plastik atau kain yang menghasilkan partikel

Pengurangan getaran dan EMI
  • Stabilitas Lantai: Konstruksi slab terisolasi dengan batas getaran yang rendah1 ‰ 2 μm, perIEST-RP-CC012

  • Perisai Interferensi Elektromagnetik (EMI): Melindungi alat litografi dan metrologi sensitif dari kebisingan listrik eksternal

Mengapa Ruang Bersih Penting dalam Produksi Semikonduktor
Pencegahan Cacat

SatuPartikel 20 μmdapat menghancurkanStruktur transistor 5 nmRuang bersih secara signifikan mengurangi:

  • Kerugian hasil (yang dapat melebihi50%di lingkungan yang tidak terkendali)

  • Risiko kontaminasi silang, seperti difusi ion logam yang tidak diinginkan

Efisiensi Biaya dan Kepatuhan
  • Mengurangi Waktu Hilang: Lingkungan yang lebih bersih menghasilkan lebih sedikit cacat wafer dan siklus kerja ulang

  • Kepatuhan Peraturan: Mendukung standar sepertiIEEE 1680untuk manufaktur elektronik yang berkelanjutan dan bertanggung jawab

Kesimpulan

Ruang bersih semikonduktor adalahlingkungan rekayasa presisiyang membentuk tulang punggung pembuatan chip modern.Standar ISO, SEMI, dan IEST, cleanroom memungkinkan pembuatan skala nanometer dengan cacat minimal dan hasil maksimum.

Karena geometri semikonduktor terus menyusut, teknologi cleanroom berkembang pesatPemantauan partikel berbasis AI,kontrol lingkungan yang cerdas, dansistem ruang bersih modular.

Untuk produsen semikonduktor, berinvestasi dalam teknik cleanroom bersertifikat bukan opsional, tetapi sangat penting untuk mempertahankan inovasi, kualitas, dan daya saing global.