Pendahuluan untuk Ruang Bersih Semikonduktor

Ruang bersih semikonduktor adalah lingkungan terkontrol yang dirancang untuk meminimalkan kontaminasi selama pembuatan mikrochip, sirkuit terintegrasi (IC), dan komponen elektronik lainnya.Bahkan partikel mikroskopis dapat mengganggu produksi, membuat kamar bersih penting untuk manufaktur hasil tinggi.

Karakteristik utama meliputi:

Jumlah partikel yang sangat rendah(Kelas ISO 1-9)

Kontrol suhu/kelembaban yang ketat(tekanan ± 0,1°C)

Filtrasi udara lanjutan(filter HEPA/ULPA)

Perlindungan pelepasan elektrostatik (ESD)

Fasilitas ini mematuhi standar global sepertiISO 14644-1(klasifikasi kamar bersih) danSEMI S2/S8(panduan keselamatan peralatan).

Standar Klasifikasi Ruang Bersih

ISO 14644-1 Kelas Ruang Bersih

Ruang bersih semikonduktor biasanya beroperasi padaKelas ISO 1-5, yang berarti:

Standar Spesifik Industri

Standar SEMI: Mendefinisikan kompatibilitas peralatan (misalnya, SEMI F47 untuk kekebalan tegangan).

Fed 209E (Legacy): Standar AS yang lebih tua digantikan oleh ISO 14644.

Fitur Desain Ruang Bersih yang Kritis

1. Kontrol aliran udara

Aliran unidirectional (Laminar): Aliran udara vertikal / horizontal untuk menyapu partikel.

Sistem Sirkulasi Kembali: 90%+ penggunaan kembali udara dengan penyaringan HEPA.

2Protokol Material dan Personil

Persyaratan Pakaian:

Kelas 1-3: kostum kelinci penuh dengan masker wajah.

Kelas 5-6: Cakupan terbatas (hoods, sarung tangan).

Pembatasan Material: Logam/plastik yang tidak dapat dibuang (misalnya, baja tahan karat, PTFE).

3. Vibration dan EMI Mitigasi

Stabilitas Lantai: Lembar terisolasi (1-2 μm batas getaran perIEST-RP-CC012)).

Perlindungan EMI: Mencegah gangguan dengan alat metrologi sensitif.

Mengapa Ruang Bersih Penting dalam Produksi Semikonduktor

Pencegahan Cacat

Sebuah partikel 20μm bisa merusak transistor 5nm.

Kerugian hasil(Hingga 50% di lingkungan yang tidak terkendali).

Kontaminasi silang(misalnya, doping tembaga dalam silikon).

Efisiensi Biaya

Pengurangan Waktu Hilang: Lebih sedikit kontaminan berarti lebih sedikit proses ulang wafer.

Kepatuhan PeraturanPertemuan:IEEE 1680untuk elektronik yang berkelanjutan.

Kesimpulan

Ruang bersih semikonduktor adalah lingkungan rekayasa presisi yang penting untuk memproduksi chip yang dapat diandalkan.ISO, SEMI, dan IESTstandar, mereka memungkinkan pembuatan skala nanometer dengan cacat minimal.Teknologi cleanroom terus berkembang dengan pemantauan partikel berbasis AI dan cleanroom modular yang semakin populer.

Untuk produsen, berinvestasi di ruang bersih bersertifikat bukan opsional; itu adalah tulang punggung inovasi semikonduktor.