Solusi Ruang Bersih untuk Industri Semikonduktor dan Elektronik

Persyaratan dan Standar Unik

• Tuntutan kebersihan ekstrem: Didominasi oleh kelas ISO 5-7 (Kelas 100-10.000), dengan area pengemasan canggih yang membutuhkan ISO 4 (Kelas 10) untuk mengontrol partikel ≥0.1μm.

• Kontrol multidimensi: Secara bersamaan mengelola suhu (20-24℃±0.1℃), kelembaban (40-50%±2%), getaran (≤50μm/s), dan listrik statis (≤100V).

• Standar internasional: Harus mematuhi SEMI S2, ISO 14644, dan GMP untuk elektronik, dengan persyaratan isolasi proses yang ketat antara tahap produksi yang berbeda.

Solusi Inti

Sistem Pemurnian Udara

• Hirarki filtrasi: Filter awal (G4) + filter efisiensi sedang (F9) + filter efisiensi sub-tinggi (H13) + filter ULPA terminal (efisiensi 99.999% untuk partikel ≥0.12μm).

• Desain aliran udara: Aliran searah cakupan penuh (0.45m/s±20%) di area inti, dengan laju penggantian udara hingga 500 kali/jam.

• Kontrol tekanan: Perbedaan tekanan gradien (≥5Pa antara zona yang berdekatan) untuk mencegah kontaminasi silang.

Tindakan Pengendalian Kontaminasi

• Manajemen material: Ruang udara untuk material yang masuk, prosedur pembongkaran dan pembersihan khusus, dan air ultra-murni (18.2MΩ·cm) dengan TOC ≤10ppb.

• Perawatan permukaan: Dinding baja tahan karat yang dilas (304/316L), lantai PVC tanpa sambungan, dan sealant bebas silikon.

• Kontrol kimia: Sistem pembuangan lokal untuk proses etsa, dengan efisiensi penghilangan gas asam ≥99%.

Strategi Operasi Ramping

• Pemantauan cerdas: Penghitung partikel waktu nyata, sensor suhu/kelembaban, dan sistem kontrol terpusat berbasis IoT.

• Optimasi energi: Unit pemulihan panas (penghematan energi ≥30%), kipas frekuensi variabel, dan pencahayaan ruang bersih LED.

• Protokol pemeliharaan: Pengujian integritas filter HEPA/ULPA triwulanan, verifikasi kecepatan aliran udara bulanan, dan validasi kinerja komprehensif tahunan.

Tren Masa Depan

• Miniaturisasi: Pengembangan menuju ruang bersih ISO 3 (Kelas 1) untuk beradaptasi dengan node proses 3nm dan lebih kecil.

• Inovasi hijau: Adopsi material VOC rendah dan integrasi energi terbarukan.

• Transformasi digital: Pemeliharaan prediktif berbasis AI dan kembaran digital untuk commissioning virtual.

Ruang bersih semikonduktor membutuhkan keseimbangan antara kebersihan ekstrem, stabilitas proses, dan efisiensi operasional. Dengan mengintegrasikan teknologi filtrasi canggih, kontrol lingkungan yang presisi, dan sistem manajemen cerdas, fasilitas kritis ini mendukung produksi komponen elektronik berkinerja tinggi.